| 电机型号及参数 | ||
| 性能参数 数值 | 单位 | 数值 |
| 一连推力（在温度Tmax下） | N | 15 |
| 峰值推力 | N | 150 |
| 最大负载 | kg | 5 |
| 有用行程 | mm | 200 |
| 区分率 | μm | 0.1 |
| 最高速率（1） | mm/s | 700 |
| 重复精度 | μm | ±0.6 |
| 平台重量 | kg | 3.5 |
| 事情情形温度、湿度 | 0-40℃、20-80%RH | |
| 注（1）：凭证现实的负载质量，会保存达不到最高速率的情形，详细速率可与工程师相同 | ||
| 平台性能参数 | ||||||||||||
| 行程mm 参数 | 100 | 200 | 300 | 400 | 500 | 600 | 700 | 800 | 900 | 1000 | 1100 | 1200 |
| k | 6 | 10 | 14 | 14 | 18 | 18 | 22 | 26 | 26 | 30 | 34 | 34 |
| N | 1 | 2 | 3 | 3 | 4 | 4 | 5 | 6 | 6 | 7 | 8 | 8 |
| 平台总长L（mm） | 320 | 420 | 520 | 620 | 720 | 820 | 920 | 1020 | 1120 | 1220 | 1320 | 1420 |
